NPC-3500（A）全自动等离子去胶机（刻蚀机）

Plasma Etcher等离子刻蚀机

NPC-3500(A)全自动等离子去胶机(刻蚀机)概述： NANO-MASTER 等离子刻蚀和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用 PC 控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具 , 具有*的能力 : 可以从 PE 等离子刻蚀切换到 RIE 刻蚀模式 , 也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。

NPC-3500(A)全自动等离子去胶机(刻蚀机) 产品特点

• 紧凑型立式系统
• 自动上下载片
• 带Load Lock
• 不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔
• 兼容 100 级超净间使用
• 淋浴头、 ICP 或微波等离子源
• 旋转样品台
• RF 偏压可 PID 控制加热到 300 °C 或冷却的样品台
• 全自动或手动 RF 调谐
• z多可支持 5 个 MFC 带电抛光的气体管路
• PC 计算机控制的气动阀
• 带密码保护的多级访问控制
• 基于 LabView 软件的 PC 计算机全自动控制
• 机械泵的压力可达到 10mTorr
• 250 l/s 的涡轮分子泵
• 极限真空为 5x10-7Torr
• 完整的安全联锁

应用：

• 有机物以及无机物的残留物去除
• 光刻胶剥离或灰化
• 去残胶以及内腐蚀 ( 深腐蚀 ) 应用
• 清洗微电子元件，电路板上的钻孔或铜线框架
• 提高黏附性，消除键合问题
• 塑料的表面改型： O2 处理以改进涂覆性能
• 产生亲水或疏水表面