Freiberg-Omega/Theta XRD Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪

主要里程碑：

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置，名为 COUNTIX 130。

◆  1989 - 开发 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统- 振荡器产量从 50% 提高到 95%

◆  2005 - 将 Omega 转移到其他材料，如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金

◆  2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM )

全球售出 约 150台石英分选系统

◆  2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH

传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师

Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪 产品优势：

◆  采用Omega-scan扫描方法

◆  测试速度快: 5s

◆  测角精度高: 0.003

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能

◆  磨抛定向解决方案

◆  拥有晶锭粘接转移的技术（堆垛 stacking）专为SiC工业设计，被多家SiC衬底头部企业青睐，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，国外四分之三的碳化硅制造商依赖Freiberg Instruments公司的晶体取向测量技术，极大提高了生产效率，提升产品质量。

◆  Mapping 面扫功能，摇摆曲线测定

◆  易于集成到工艺线中

◆  MES和/或SECS/GEM接口

◆  倾斜的典型标准偏差（例如：Si 100）：<0.003 °，小于<0.001 °

Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法对各种晶体进行取向测定和摇摆曲线测量。大而宽敞的设计可以容纳长度达450毫米、重量达30公斤的样品和样品架。

所有的测量都是自动化的，可以从用户友好的软件界面上的访问。使用Omega扫描，可以在晶体旋转时（5秒）确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只能得到一个取向成分。

倾斜角可以以非常高的精度确定；使用Theta扫描可以达到0.001°。对于所有其他晶体方向，精度取决于与表面垂直的角差。

该系统是模块化的，已经配备了许多不同的扩展，用于特殊的目的，如形状或平面的确定、绘图和不同的样品架。样品的倾斜是通过光学测量检测出来的，并可用于校正所产生的方向。

Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪：

◆  全自动完整的单晶体晶格取向测量

◆  使用欧米茄扫描法进行超快速的晶体取向测量

◆  自动摇动曲线测量功能

◆  衍射仪的角度分辨率：0.1角秒。

◆  样品尺寸可达450毫米

◆  适用于生产质量控制和研究

用户友好，成本效益高：

◆  方便的样品处理，易于操作

◆  *的、用户友好的软件

◆  能源消耗和运行成本低

◆  模块化设计，灵活性强

◆  各种升级选项

◆  根据用户的要求进行定制

选配功能：

◆  自动Mapping面扫功能

◆  Omega/Theta – 晶锭粘接转移的技术（堆垛 stacking）

◆  Omega/Theta - 摇摆曲线测量

◆  Omega/Theta - 定制的样品台

◆  用于样品形状测量的激光扫描仪

◆  光学检测，用于平面和凹槽检测

◆  额外的样品旋转轴用于3D绘图

◆  二级通道切割准直器（分析器）

◆  用于样品调整的设备