URE-2000/17/25/35/34AL 紫外光刻机

1． 技术参数

l UV光源：进口 LED 模块

l 曝光中心波长：365nm

l 光源平行性：2º

l ★ 曝光分辨率：0.8um-1um

l 曝光能量密度：>35mW/cm²可调

l 照度不均匀性： ≤2 . 5%( ∮ 150mm范围 )

l ★ 曝光面积：160mm*160mm

l 光源寿命：2万小时

l 曝光设定：定时

l 曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换 （前后移动）

l 套准精度： ±0.8 - 1 um

l 可执行曝光模式：真空接触、硬接触、压力接触、接近式，

l 间隙设定方式：数字设定曝光间隙 ，自动分离和消除间隙

l 样片、掩模版相对移动范围：X: ±5mm， Y: ±5mm ， θ=±6º

l 掩模版找平方式：球气浮自动找平

l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、 4″×4″ 、 5″×5″ 、 7″×7″ 各一件

l 标配承片台 ： 2英寸、 3 英寸、 4 英寸 、 6 英寸

l 标准配件可兼容样片厚度：0.1-6mm ，其他尺寸可定制

l 可设计工作厚度：50mm

l ★ 双目双视场对准显微镜 或者 光学 镜头 +CCD + 显示器 ：可通过目镜 目视 对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍 ，物镜三对： 4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍

l 双物镜可调距离范围：30mm-120mm

l ★ 显微扫描范围：Y:±40mm（ 电动， 数字设定）

  设备尺寸： ≤700mm