SPECTOR 离子束溅射 （IBD） 光学镀膜系统

的交钥匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅射 （IBD） 光学镀膜系统，实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。SPECTOR IBD 光学镀膜系统具有多种夹具、目标组件和光学监控系统选项，可满足几乎所有光学薄膜制造应用的产量和器件性能要求。

SPECTOR 双离子束溅射系统

• 可互换的平台可容纳行星式、简单旋转或翻转式夹具

• 为电信应用提供 200、100 和 50 GHz DWDM 滤波器的高产量

• 满足严格的器件规格，如窄通带、宽阻带、陡斜率和低插入损耗

• 生产增透膜、复杂的非四分之一波镀膜和超低损耗激光反射镜

• 制造具有个位数 ppm 水平的吸收和散射的镜子

• 高能工艺提供更好的堆积密度和低针孔密度

• 低压操作提供高薄膜纯度

  
  

SOURCERER系统管理器具有的图形界面，具有实时和动画运动功能，与市场上任何其他离子束系统控制包相比，SOURCERER®系统管理器提供了更多的控制和灵活性。使用简单的命令或易于导入的薄膜设计，工艺工程师可以开发先进的自动化配方，开始工艺运行，并在运行完成后返回。结合 Veeco 的工艺知识和响应迅速的全球服务组织，我们在售前和售后都设定了标准。