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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>涂胶显影设备>KS-S300-SP 12寸喷雾式涂胶机

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KS-S300-SP 12寸喷雾式涂胶机

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涂胶显影

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1. 产品概述

KS-S300全自动喷雾式涂胶机是一款创新型设备,通过超声波技术将光刻胶雾化为微小颗粒,能够在较大深宽比的图形表面上以高分辨率均匀涂敷光刻胶。此技术的应用显著增强了涂胶效果,使得光刻胶能够有效覆盖沟槽的侧壁和边缘,从而避免了在传统涂胶方式中常见的沟槽内堆积现象。这种精确涂布不仅有助于提高成品的质量,也能显著节省光刻胶的使用量,降低材料成本。

针对轻薄易碎的衬底,KS-S300特别设计了静态喷雾式涂胶系统。通过在涂胶过程中避免高速旋转,这种设计有效降低了衬底破裂的风险,从而保护了高价值的材料,确保生产过程的安全性和可靠性。

KS-S300的应用领域十分广泛,包括半导体封装、微机电系统制造(MEMS)及其他高科技领域。它不仅提升了工作效率,降低了材料浪费,还在精度和一致性方面满足了严格的工业标准。此外,该设备已顺利通过SEMI S2认证,进一步证明了其在安全性和质量控制方面的可靠性。

2. 产品优势:

旋流式锥形雾化可均匀覆盖高深宽比台阶的边缘和底部

旋转加热式承片台有效节省光刻胶
承片台静态喷涂规避轻薄衬底碎片风险
喷嘴具备内外自动清洗功能

3. 应用域:

封装
OLED域
MEMS




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