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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>湿法工艺设备>化学机械抛光机(CMP)>TAP-400/600/450A/500 精密研磨抛光机

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TAP-400/600/450A/500 精密研磨抛光机

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晶圆抛光

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1. 产品概述:

精密研磨抛光机是一种专门用于对高精度零件表面进行加工处理的机器设备。它集成了电机、磨头、工作台、液压系统、气动系统和控制系统等多个关键组件,能够实现对零件表面高质量的磨削、抛光和刻蚀,从而达到非常高的平整度、光洁度和精度要求。这种设备广泛应用于环境科学技术、资源科学技术、机械工程、动力与电气工程、电子与通信技术以及航空、航天科学技术等多个领域。

2 设备用途/原理:

  1. 表面加工:精密研磨抛光机主要用于去除材料表面的不平整、毛刺、氧化皮等缺陷,使表面更加平滑,达到所需的光泽和精度要求。

  2. 材料处理:适用于各种金属、陶瓷、晶体玻璃、石英类产品等材料圆柱体的研磨与抛光,以及PCB板、光学材料(如硫化锌、硅等晶体)、耐火材料、复合材料等材料的研磨抛光制样。

  3. 形状和尺寸修整:通过去除材料表面的一部分,可以修整其形状和尺寸,满足特定的加工需求。

  4. 科学研究与生产实验:作为科学研究、生产实验中理想的磨抛设备之一,精密研磨抛光机在多个领域发挥着重要作用。

3 设备特点

1 高精度:精密研磨抛光机能够控制研磨后的圆柱度在极小的范围内(如0.0005mm以内),确保加工件的高精度。

2 多功能性:适用于多种材料的研磨抛光,具有广泛的适用性。

3 自动化控制:整个加工过程可以通过控制系统进行自动化控制和监测,以提高加工质量和效率。

4 人性化设计:部分型号如OPT-380自动精密研磨抛光机,具备快速拆装摆臂、无级调速控制、定时功能、散热系统以及简易操作界面等特点,便于操作和维护。
5 高效性:采用先进的加工技术和设备设计,能够在短时间内完成高质量的研磨抛光工作。

综上所述,精密研磨抛光机以其高精度、多功能性、自动化控制、人性化设计和高效性等特点,在多个领域发挥着重要作用,是现代制造业中的重要设备之一。
4  设备参数

规格/型号

TAP-400

TAP-500

TAP-450A

TAP-600

抛光盘规格

OD400mm

OD520mm

OD450mm

OD630mm

抛光头数量

2

2

2

2

抛光盘转速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

抛光头转速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

抛光头压力

10~100kgf 可调

10~100kgf 可调

10~100kgf 可调

10~150kgf 可调

抛光头摆动

摆幅摆速可调

摆幅摆速可调

摆幅摆速可调

摆幅摆速可调

半自动上下片

可选配

可选配

可选配

抛光头规格

Max6 寸载片

Max6 寸铁环

Max6 寸载片/4寸铁环

Max8 寸铁环




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