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IVG系列-全/半自动单/双轴减薄机

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










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1 产品概述:

半自动双轴减薄机是一款高精度研削设备,它安装了两个砂轮轴,以提供更为灵活和高效的研削能力。该设备通过手动装片方式操作,并配备了自动厚度测量和补偿系统,确保研削过程中的精度和一致性。半自动双轴减薄机的工作台可根据客户需求进行定制化设计,以满足不同尺寸和材料的加工需求。

2 设备用途:

半自动双轴减薄机主要用于半导体制造、硅片加工、光学材料处理及薄膜材料制备等领域。其主要用途包括:

  1. 半导体制造:在半导体晶圆的制造过程中,对晶圆进行精确减薄,以满足后续工艺对晶圆厚度的严格要求。

  2. 硅片加工:对硅片进行高精度研削,调整硅片厚度,提高硅片的质量和加工效率。

  3. 光学材料处理:在光学元件的制备过程中,对光学材料进行精确减薄,以满足光学元件对材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

  4. 薄膜材料制备:在薄膜材料的制备过程中,半自动双轴减薄机可用于对薄膜进行精确控制厚度的研削加工。

3. 设备特点

半自动双轴减薄机具有以下几个显著特点:

  1. 高精度:采用先进的研削技术和精密的控制系统,确保研削过程的高精度和一致性。厚度在线测量重复精度可达±0.001 mm,满足高精度加工需求。

  2. 双轴研削单元:配备两个砂轮轴,能够同时进行粗磨和精磨操作,提高加工效率,并减少工件在不同工序间的转移时间。

  3. 自动厚度测量和补偿系统:实时测量工件厚度,并根据测量结果自动调整研削量,确保研削后的工件厚度达到预定目标值。

  4. 定制化工作台:工作台可根据客户需求进行定制化设计,以适应不同尺寸和材料的加工需求,提高设备的灵活性和适用性。

综上所述,半自动双轴减薄机以其高精度、双轴研削单元、自动厚度测量和补偿系统、定制化工作台、操作灵活以及良好的兼容性等特点,在半导体制造、硅片加工、光学材料处理及薄膜材料制备等领域发挥着重要作用。

4 设备参数:

项目

IVG-2020

IVG-3020

大晶圆尺寸

8 英寸

12 英寸

砂轮规格

Ø203(OD)mm

Ø303(OD)mm

砂轮轴功率

6.0kW

9.5kW

砂轮轴转速范围

0~6000 RPM

0~4000 RPM

工作台转速

0~380 RPM

0~380 RPM

Z 轴进给速度

0.1~1000 um /sec

0.1~1000 um /sec

厚度在线测量范围(OMM

0-4800um

0-4800um

厚度在线测量重复精度

±0.001 mm

±0.001 mm

NCG 非接触实时测厚系统

可选配

可选配





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