全自动超临界干燥仪SCD-380A 8英寸

全自动超临界干燥仪SCD-380A 8英寸原理：

超临界流体具有类似气体的扩散性及液体的溶解能力，同时兼具低黏度，低表面张力的特性，使得超临界流体能够迅速渗透进入微孔隙之中。因此用于萃取/干燥时速率比液体快速而有效，尤其是溶解能力可随温度，压力和极性而变化。

传统干燥方法，液体在高温条件下直接转化成气体，这样会产生一定量的表面张力变化，将有可能破坏样品的精细结构，对于特殊的样品，比如，溶胶凝胶、生物样品、结构不稳定的多孔材料等，使用传统干燥方法预处理样品将导致样品结构被损坏。而使用临界点干燥法中，介质采用液态二氧化碳---超临界二氧化碳---气体二氧化碳这种相变方法，将分界面的表面应力将为零，则可以保存样品的精细结构。

全自动超临界干燥仪SCD-380A 8英寸技术参数：

1、316不锈钢 材质 耐高压管路 和阀门 ，安全有保障 ，在洁净室内完成组装和打包；

2、新款全自动设计，触摸屏 操作 ， 仪器无任何外置阀门旋钮，程序控制实验流程 无需人工值守操作 ；

3、内置多种材料干燥流程可选，支持自定义个性化处理方案；

4、 智能化程序设计，实验流程图形化界面，实时显示实验进度和参数；

*5、电动高压微调阀系统控制co2流速，程序控制可以进行慢充，快充，慢排，快排，流速设置分辨率为最大流速的1%，精确可靠，无任何外置手动微调阀门；

6、温度控制范围：0℃至60℃，精度：±1℃。内置高效制冷系统和电加热均为程序自动控制；

7、 带视窗 和照明 的高压样品 池 ， 尺寸：直径220mm*高度35mm， 带有顶部 进气 和底部排空的垂直样品腔，利于介质排出和样品放置 ；

8、 仪器正常工作压力为 0 - 8 MPa，出厂检测系统耐压15MPa（2150psi），保证安全可靠 ；

9、 仪器 具 有超压自动泄压系统，确保压力可控 ；

10、 完备的过滤系统，外置和内置0.5μm过滤器保护样品与微调阀门 ；

11、配置有适用于2,4,6,8英寸的样品支架和对应填充环，材质为聚四氟乙烯；

12、 坚固防腐蚀的箱体， 尺寸：长宽高70*55*130cm， 带有 压力、温度和流量显示，方便客户掌握仪器运行状态 。

标配附件：

柔性高压LCO2管线，1.5米，连接钢瓶和仪器；

外置过滤器（过滤精度 ： 0.5um），配套高压软管；

可 放置5片8寸晶圆配置相应的样品架 ，

可 兼容6寸、4寸、2寸、10mm*10mm方片晶圆的干燥处理（配置相应的填充块） ，

防静电排空管线2根，各1.5米；

备用样品室密封环（ 10 ）；

专用样品支架二套；

样品池填充环一个；

安装工具一套；

用户说明书及使用指南；

两 年质保及终生免费技术支持。

废液收集桶一个；

高纯二氧化碳钢瓶一瓶，纯度≥99.9%。