旋涂仪产品概述:
MSC-75T可编程匀胶机,采用分体式结构设计,外壳为金属喷涂,白色美观。PP耐腐蚀内腔,4.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~100mm圆晶尺寸基片。
该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。PP材料旋涂内腔,可直接取下来,方便清洗。
旋涂仪性能参数:
适用晶元尺寸范围:Ø 5~100mm;
旋涂速度:100~10000rpm;
转速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-10000rpm/s;
最大旋涂时间:3000s;
旋涂时间精度:0.1s;
匀胶机均匀性:≤±3%;
内腔直径150mm,内腔采用凹面防溅设计;
操作界面:4.3寸触摸屏;
语言选择:可选择中英文;
电机功率:100W直流无刷电机;
具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序5步;
电源输入:AC200-230;
产品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H);
重量:10KG;
附件:
标配吸盘:10mm、25mm、2英寸。其它吸盘可定制;
真空泵:一台;
一次性内衬:一只;
国标电源线:一根(可选欧标、英标、美标等方便出口);
包装:木箱。
产品特点:
设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
PP材料旋涂内腔,耐腐蚀;
采用分体式结构,易清洁和移动;
4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;
精确设置实验参数,运行状态实时显示;
经CNC一体加工成型的PP内腔,内腔壁采用凹面设计,有效防溅;
采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计。
保修:
所有机台上新增或修改部分,其保固年限于采购合约中明定规范,需一年。
本设备、零件保固期为自验收日起算12个月内或交机后15个月内。
支持分体式设计,支持扩展自动滴胶系统,更多需求可联系详细沟通。