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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>匀胶机>MSC-75T 旋涂仪

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MSC-75T 旋涂仪

具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


合肥重光电子科技有限公司是一家专业从事仪器设备的生产商。针对国家大力扶持的太阳能电池和半导体等科技领域。

我司有专业的检测仪器和工艺实验设备,能够满足不同客户的打样和定制化需求。同时我司与中国科学技术大学微纳加工平台、合肥工业大学微纳加工平台保持技术上的交流,能有效帮助客户解决工艺问题。

我司提供产品的定制化代工业务,满足客户对自营品牌的需求,让客户从而实现资产轻量化运营。

‍‍我司产品优势:提供定制化服务,满足客户多样化需求,从而为客户节约更多科研经费。其中低速匀胶平稳,结束低粘度光阻匀胶依赖进口品牌。

匀胶、热板、显影、等离子、光刻设备

旋涂仪产品概述:

MSC-75T可编程匀胶机,采用分体式结构设计,外壳为金属喷涂,白色美观。PP耐腐蚀内腔,4.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~100mm圆晶尺寸基片。
该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。PP材料旋涂内腔,可直接取下来,方便清洗。

旋涂仪性能参数:

适用晶元尺寸范围:Ø 5~100mm;

旋涂速度:100~10000rpm;

转速分辨率:1rpm;

旋涂加速度:100-10000rpm/s;

最大旋涂时间:3000s;

旋涂时间精度:0.1s;

匀胶机均匀性:≤±3%;

内腔直径150mm,内腔采用凹面防溅设计;

操作界面:4.3寸触摸屏;

语言选择:可选择中英文;

电机功率:100W直流无刷电机;

具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序5步;

电源输入:AC200-230;

产品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H);

重量:10KG;

附件:

标配吸盘:10mm、25mm、2英寸。其它吸盘可定制;

真空泵:一台;

一次性内衬:一只;

国标电源线:一根(可选欧标、英标、美标等方便出口);

包装:木箱。

产品特点:

设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;

PP材料旋涂内腔,耐腐蚀;

采用分体式结构,易清洁和移动;

4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;

精确设置实验参数,运行状态实时显示;

经CNC一体加工成型的PP内腔,内腔壁采用凹面设计,有效防溅;

采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;

具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计。

保修:

所有机台上新增或修改部分,其保固年限于采购合约中明定规范,需一年。

本设备、零件保固期为自验收日起算12个月内或交机后15个月内。

支持分体式设计,支持扩展自动滴胶系统,更多需求可联系详细沟通。



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