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化工仪器网>产品展厅>物理特性分析仪器>磁学测量仪器>其它磁性测量系统>MKW-3200 综合物性测量系统

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MKW-3200 综合物性测量系统

具体成交价以合同协议为准

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户: 华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院, 中科合肥智慧农业协同创新研究院 等。

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

1. 综合物性测量系统主机

基系统应包括: 14特斯拉的新式电制冷超导磁体、磁体控制系统及温度控制系统、低温杜瓦、底部带有12针脚样品插座的≥25.4mm内径样品腔、样品操作杆、样品初连线检测台、高真空系统、磁屏蔽系统、Windows 操作系统下的控制软件而非基于LabVIEW的通用软件,自动化程度高,能通过网络进行远程诊断和测量实时监控。采用脉管式制冷机冷却,可实现启动和运行只需氦气,摆脱液氦依赖。

1.1 温度控制系统

1.1.1 温度范围:1.9K - 400K 连续变温;

1.1.2 降温时间:从300K降至1.9K ≤ 45min(典型值);

1.1.3 温度稳定性:±0.1% (T < 20K);±0.02% (T > 20K)(典型值);

1.1.4控温模式:连续低温控制和温度扫描模式;

1.1.5 液氦消耗:无需灌装液氦或液氮,通过制冷机直接液化少量氦气对样品进行控温;

1.1.6 初次启动时间(典型值):≤40小时(12T、14T);

1.2 磁场控制系统

1.2.1 纵向磁体, 磁场强度:±14T (使用水冷式脉冲管式制冷机直接传导制冷);

1.2.2 场均匀性:0.1% (5.5 cm轴向范围内);

1.2.3 扫描速度:0.2-100 Oe/sec;

1.2.4 从零场加至满场所需时间:<30分钟;

1.2.5 多种磁场逼近模式:线性加场、振荡加场、非过冲式加场

线性模式下,磁体磁场通过设定加场速率快速加场迅速接近设定磁场。振荡模式下,磁体磁场通过振荡衰减至设定磁场。

非过冲模式下,磁体磁场在不超过设定磁场的前提下,逐渐逼近设定磁场。

1.3 样品腔

1.3.1 净内径要求不小于25.4 mm(1英寸);

1.3.2 腔底能通过插座与样品托进行传热和引线连接,提供至少12个针脚引线;

1.3.3 能够在样品放入样品腔之前,腔外检测各种测量模式样品引线的导通质量;

1.4 系统操作软件

1.4.1 基于Windows专用控制软件,而非基于LabVIEW的普通通用软件;

1.4.2 能方便售后工程师通过网络进行远程诊断和测量实时监控;

1.5 制冷杜瓦

1.5.1 从安装启动到日常运行都不需要灌装液氦,初次启动消耗<1/4瓶氦气(40L标准钢瓶@15Mpa);

1.5.2 采用高效稳定的水冷型压缩机的4K脉冲管制冷机,脉冲管制冷机空载富余冷量[email protected]

1.6 内置高真空

1.6.1 样品腔环境能提供低于10 -4 托的高真空环境,可兼容比热测量、热输运测量、极低温输运测量、高温磁测量所需高真空热屏蔽;

1.6.2 真空度:<10 -4 Torr;

1.6.3 活化时间:≤5分钟;

1.6.4 活化后冷却时间:≤30分。

2. 振动样品磁强计选件

2.1 能够对磁性样品进行高精度的直流磁化强度测量;

2.2 测量温度范围: 1.9K-400K

2.3 灵敏度(1秒数据平均):<1*10 -6 emu;

2.4 噪音基(RMS): 6×10 -7 emu @300K;

2.5 精确度:±0.5%;

2.6 振动频率:10Hz -60 Hz,典型值:40Hz;

2.7 振动幅值:0.1mm - 5mm,典型值:2mm;

2.8 线圈内径:≥6 mm;

2.9 可升级大线圈选件、交流磁化率、1000K高温磁测量、光诱导磁测量等功能选件。

3. 直流电输运选件

3.1 能够全自动测量电阻率(磁阻)、霍尔系数和伏安特性;

3.2 输出电流量程:10 nA - 8 mA;

3.3 最大电压:4V;

3.4 测量精度:0.01%(典型值);

3.5 最大测量电阻:4MΩ;

3.6 使用样品托方式装样,非插杆式;

3.7可同时用4引线法测量3个样品的直流电阻率,或者同时测量1个样品的电阻和霍尔效应。

4. 霍尔 效应 测量选件

4.1 灵敏度:≤1μV/100mA;

4.2 载流子迁移率范围:不少于10 4 cm 2 /(V∙s)- 0.1 cm 2 /(V∙s);

4.3 电流范围:1μA- 2 0mA;

4.4 电流测量范围: 2 0mA-10nA;

4.5 限定电压:最大10V。

5. 热输运测量选件

5.1 能够全自动测量电阻率、热导率、塞贝克系数、热电品质因数;



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