表面形貌仪采用的白光共聚焦技术，Zui高扫描速度可达1m/s，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高，速度快，重复性好的优点，测量不受样品反射率和光的影响，测量简单，可用于测量大尺寸样品，如透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料等，主要应用于半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发。
测量原理：
低相干白光同时照射样品和参考平面，被样品和参考平面反射的两束白光发生干涉后由阵列式CMOS探测器接收，由于探测器直接与信号处理芯片（Smart Pixel技术）连接，所以阵列上每个像素点的信号都在芯片中完成锁相放大，背景信号补偿和结果计算输出，成像于计算机就实现了样品表面的快速三维形貌测量。
在工业的应用领域：
食品安全在线检测。
微电子集成电路表面形貌在线检测。
印刷电路板品质检测。
零件器件表面划痕损伤检测。
微机械精加工质量控制，如钟表，微机械器件等。
电子产品零件在线监控，如手机，笔记本电脑，平板等。
微流体器件三维形貌检测。
在线检测设备集成。
证件防伪，安检。
技术特点：
1、每秒一百万张二维图像。
2、无损表面形貌检测和分析。
3、高精度在线/离线检测。
4、模块化设计，超高集成灵活性。
5、无需苛刻的工作环境（振动，噪声，温度等）。
6、可应用于科研和工业领域。
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