等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固、液、气三态。对气体施加足够的能量使之离化，便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。
具体来说，等离子清洗机的工作原理主要涉及两个方面：
物理作用：高能离子轰击材料表面，去除表面的污染物或氧化层。
化学作用：等离子体中的活性自由基与材料表面发生化学反应，生成挥发性物质或改变表面化学性质。
等离子清洗机具有以下特点：
干燥处理：清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，可以提高整个工艺流水线的处理效率。
无害处理：等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题。
绿色环保：避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，清洗后不会产生有害污染物，属于环保的绿色清洗方法。
不受形状限制：采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。
易于清洁：使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，生产场地很容易保持清洁卫生。
材质广泛：等离子清洗机可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子体来处理，特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。
改善性能：在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等。
