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台式扫描电镜是一种小型紧凑设计的扫描电子显微镜

阅读:66      发布时间:2025-5-29
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  台式扫描电子显微镜 (简称 SEM )主要用于各种样品微细结构和特征的形貌观察,适用于生物样品、医学样品、环境样品、金属材料、合金材料、陶瓷材料、吸附剂等的形貌观察和微区分析‌‌。
 
  台式扫描电镜的工作原理与传统扫描电镜类似,都是利用电子枪发射出的电子束,经过电磁透镜聚焦和偏转系统的作用,形成一束能量较高、直径很细的电子探针。该电子探针在样品表面进行逐点扫描,电子束与样品相互作用,产生二次电子、背散射电子等信号。这些信号被探测器收集并转换为电信号,再经过放大和处理后,在显示器上显示出样品表面的微观形貌图像。其中,二次电子信号是台式扫描电镜主要利用的成像信号,高能电子束轰击样品表面激发出的二次电子,其信号强度与样品表面形貌有一定对应关系,可将信号强度差异转换为图像中不同区域的亮度差异,从而得到样品表面的形貌图像。
 
  台式扫描电镜通常具有紧凑的整体结构,将电子光学系统、真空系统、信号检测系统等集成在一个较小的机箱内,体积通常明显小于传统的大型扫描电镜,占用空间小,便于安装和使用‌。此外,其真空系统相对简单,能够快速达到所需的真空度,且操作和维护相对容易‌。
 
  台式扫描电镜广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、纺织纤维、地质科学等诸多领域。例如,在材料科学中,它可以用于观察金属材料的微观组织、陶瓷材料的晶粒结构、高分子材料的表面形貌等,帮助研究人员了解材料的微观结构与性能之间的关系,进行材料的研发和质量控制‌。此外,台式扫描电镜还适用于生物样品、高分子材料等对电子束敏感的样品,因其较低的加速电压可以减少对样品的损伤‌。

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