（一）、真空系统：
2级真空：
机械泵和涡轮分子泵
机械泵一般时前级真空，也就是在机械泵把真空降到一定水平后才启动涡轮分子泵，以保护分子泵。所以仪器从大气压到真空合适的状态一般要经过一段时间的。
（二）、进样系统：
从分离装置来的组分（气体或者液体）或者从直接进样杆进液体或者固体样品。
（三）、离子源
离子源： 主要作用是使欲分析的 样品实现离子化，尤其是中性物质带上电荷。
样品本身性质的差异，决定了离子化的方式不能有的离子源，离子源的类型也是多种多样。
（四）、质量分析器
质量分析器是质谱仪的核心部件，因此常以质量分析器的类型来命名一台质谱仪。
( 五）、检测器：目前是光电倍增器应用较广。
( 六）、采集数据和控制仪器的工作站
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