被测元素的原子在高温等离子体中受激而产生光辐射，经过光谱仪衍射光栅的分光可得到样品中元素的谱线, 由谱线的波长和强度进行定性及定量。

根据元素所产生的原子蒸汽对同种元素所发射的特征谱线的吸收作用进行分析，谱线的强度进行定量。

ICP作为质谱的高温离子源，样品在通道中进行蒸发、解离、原子化、电离等过程。离子通过样品锥接口和离子传输系统进入高真空的MS 部分，通过高速顺序扫描分离测定所有离子，并通过高速双通道分离后的离子进行检测。

用微波等离子体(MPT)焰炬作为激发光源。由于焰炬温度高且具有中央通道，由载气引入该通道的待测液体试样经脱溶剂、熔融、蒸发、解离等过程，形成气态原子，各组成原子再吸收能量后发生激发，跃迁到激发态，处于激发态上的原子不稳定，以发射特征辐射(谱线)的形式重新释放能量后回到基态。根据各元素气态原子所发射的特征辐射的波长和强度进行定性和定量分析。

其是用一种已知浓度的试剂溶液加到被测物质的溶液中，直到化学反应*时为止，然后根据试剂的用量和浓度求得被测元素的含量。如SH/T 0309 含添加剂润滑油的钙、钡、锌含量测定法(络合滴定法)。

基于比较有色物质颜色深浅以确定含量的方法。如SH/T0296 添加剂和含添加剂润滑油的磷含量测定法，方法概要：在高温下，用氧化锌作捕获剂，使试样中的磷生成五氧化二磷，留在氧化锌中。然后用硝酸将氧化锌溶解，使五氧化二磷转变成磷酸根。在一定酸度范围内磷酸根与钒酸铵-钼酸铵形成稳定的黄色络合物，在波长460 nm 处比色。

基于电弧的高温使样品中各元素直接气化并激发，而发射出各元素的特征波长，用光栅分光后，成为按波长排列的“光谱”，通过光电倍增管、检测器，得出元素的含量。主要测润滑油、传动液及燃料油中磨损金属、污染物及添加剂的含量。