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尼康干涉物镜CFPLAN Ti2.5X/5X/10X/20X/50X

时间:2022/4/11阅读:2252
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尼康干涉物镜CFPLAN Ti2.5X/5X/10X/20X/50X

尼康干涉物镜CFPLAN Ti2.5X/5X/10X/20X/50X

     

干涉物镜

2.5x5x10x20x50x100x
工作距离(mm)10.39.37.44.73.42.0
NA(数值孔径)0.0550.150.300.450.550.7
FOV(mm)15093×38182546×19091270×950637×477254×190127×95
空间采样(mm)26.643.321.620.830.330.17
光学分辨率 蓝光(L&S)(mm)32.550.930.460.310.250.20
光学分辨率 白光(L&S)(mm)33.041.110.560.370.300.24
大坡度43.05o8.6o14o21o25o42o
垂直分辨率(nm)PSI7垂直分辨率(nm)ePSI7<0.1nm(PZT 0.01nm)
垂直分辨率(nm)VSI71nm5mm
垂直范围PSI(mm)5mm
垂直范围ePSI(mm)100mm
垂直范围VSI(mm)10mm
扫描速率(mm/s)PSI:3-15mm/s VSI/ePSI:4-18mm/s
一般测量时间(s)9PSI:3s VSI:10s ePSI:30s

尼康干涉物镜CFPLAN Ti2.5X/5X/10X/20X/50X


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