在LCD显示屏组装中,很多工艺都需要等离子体清洗机的处理技术配合,如玻璃基材蒸镀或溅镀ITO膜前,由于玻璃表面很脏造成清洗困难,达不到清洗效果,而等离子体清洗机能有效的出除表面油脂、灰尘等污染物,使之达到超洁净清洗目的;ITO玻璃涂覆光阻前采用等离子体清洗机的处理能有效提高表面浸润性、去除污染物、减少气泡产品、去除图形转移后残留的化学药剂。LCD模组粘合工艺中去除溢胶等有机类污染物、偏光片、防指纹膜等贴合前表面清洗和活化。
等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机解决的难题主要是由于保护膜的存在,等离子在处理贴合面时如温度过高会导致保护膜变形。
Lcd封装的时候,在玻璃基板(LCD)上安装裸芯片IC(裸芯片IC)的COG工艺中,当芯片在高温下粘结硬化时,基板涂层的成分沉淀在粘结填料的表面。有时,银浆和其他连接剂溢出来污染粘合填料。如果在热压结合工艺前通过等离子清洗机去除这些污染物,可大大提高热压结合的质量。此外,由于提高了裸芯片的基板与IC表面之间的润湿性,LCD-COG模块的键合紧密性也得以提高,并且线路腐蚀问题也得以减少。通过等离子表面活化,等离子体清洗机可以提高大多数物质的性能:清洁度、亲水性、拒水性、内聚性、可伸缩性、润滑性和耐磨性。
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