设备装配过程（1）

这是我公司近期的一个定制项目，为客户定做了一台真空镀膜机。本实验设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜，是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。

设备装配过程（2）

本设备采用箱式结构，抽气系统后臵，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。阀门采用气动，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设臵一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。

完工后的设备

主要技术参数

1）真空，极限真空：2×10-4Pa              2）恢复真空，从大气→2×10-3Pa≤10min

3）蒸发室，腔体尺寸：500x500x700    4）工件夹具：外径φ100mm

5）夹具转速：N=9-300rpm                  6）电源：220v/50Hz

7）总功率：3kw                                8）温湿度数据记录频率：1次/分（容量>6小时）

9）手动排气阀直径：25mm                 10）顶部机械压力表测量范围：-0.1Mpa-0

11）平板电极材质：紫铜（300x300x2）    12）膜厚测试仪测量范围：20nm-1μm

13）起泡器温控精度：±0.5℃                      14）起泡器外接接口尺寸：1/4寸

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