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扩散泵报警什么原因
2015-10-19 阅读(3461)
扩散泵报警什么原因:
检查扩散泵上的循环水还有吗~或者是扩散泵循环水上的传感坏了.
扩散泵常出现的故障：
1：极限真空变低，原因：
a.系统中有渗漏；
b.系统太脏；
c.泵油污染；
d.加热功率不够；
e.冷却水不足；
f.过量或过冷的冷却水；
g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；
h.快冷管内有水。
2： 抽气较慢，原因：
a.加热功率低；
b.油量不足；
c.喷帽安装位置不当或受损。
3：进口压力波动，原因：
a.加热器输入功率不当；
b.油脱气；
c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4：工作腔污染大，原因：
a.前级压力高；
b.在高于10-1Pa压力下长期工作；
c.系统操作有误。
5：返油率过大，原因：
a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
b. 加热功率不对；
扩散泵报警什么原因:
