要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子，产生的光通过滤光器，到达光电倍增管，可以测量通过的波长的发射强度。薄膜沉积控制仪利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系，该系列流量计的传感器有两只标准级，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
　　系统主要由蒸发室、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电子枪电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、控制系统、安装机台等部分组成。体现立方整体外观，适用于超净间间壁隔离安装。
　　配以的控制系统，可以在工程塑料，玻璃和金属表面镀制单质金属膜、复合膜、电磁屏蔽膜、ITO膜。生产过程全部自动，薄膜沉积控制仪可以实现连续率的磁控溅射镀膜。生产线可以根据需要配置多个真空室，采用立式或卧式，每个真空室根据需要配置不同的靶材，室与室之间采用独立的真空抽气系统，可以随意调节各个真空室的气体参数，镀制不同的膜层，可以满足工业化连续生产的需要。
　　该膜可以很容易地保持其形状，即使在复杂的基表面，其的粘合强度，自粘性和湿应用的方法，使建筑安全和环保，泄漏很少一切甚至膜破裂，其良好的蠕变变形的评价，该膜可用于钢结构屋面的临时修复。晶体控制振荡电路这样当晶体在镀膜过程中的电特性改变时，振荡电路变得不稳定和“跳跃”至另一个谐振频率或*故障，导致不正确的膜厚测量值。