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技术文章

美国激光干涉仪API测量仪器信息

阅读:161          发布时间:2025-5-12

核心优势

  • 优异精度:标准款激光干涉仪检测精度达 0.5ppm(0.5μm/m),能够满足众多高精度制造场景;XD Laser 系列的精密型更是将精度提升至 0.2ppm(0.2μm/m),适用于半导体制造、光学镜片研磨等对精度要求高的行业。

  • 高效测量:以 XD Laser 6D 为例,一次安装即可同步完成定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角、滚动角等 6 项参数测量,相比传统设备效率大幅提升 80%。例如,1 米行程机床的全面误差检测,传统方法需要较长时间,使用 API 设备仅 3 - 4 小时便可完成。

  • 便捷操作:仪器采用紧凑设计,全套系统轻巧便携。测量时无需三角架,可直接安装在机床导轨上,极大简化安装流程;集成化的干涉镜与激光器设计,减少复杂的光路调整步骤;部分型号支持 25 米以上无线遥控测量,方便操作人员在复杂工况下灵活使用。

  • 良好环境适应力:内置自动气压与温度补偿系统,可实时校正环境变化对激光波长和测量结果的影响;多重数字滤波器有效抑制空气波动、温度梯度导致的测量误差,无论是恒温实验室还是温度、湿度变化较大的工业现场,均可稳定输出可靠数据。

  • 功能丰富:API 激光干涉仪具备多样化的测量功能,1D 型号专注定位误差检测;3D 型号可测量定位误差与双向直线度误差;5D/6D 型号更能实现角度参数的全面测量。此外,XD Laser 系列还可对速度、加速度、振动等动态参数进行分析,为机床性能评估提供多维度数据支持。


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