半导体制造对水质要求近乎苛刻,上海某芯片生产企业在光刻、蚀刻工序中,每日产生 1500 吨含氟、氨氮的酸性废水,虽现有处理设施能实现达标排放,但高昂的自来水采购成本(年支出超 2000 万元)与废水外排指标限制,成为企业扩产瓶颈。经企业高层对多家环保企业进行考察后,于 5 月 15 日委托杰鲁特进行技术升级。
检测数据显示,废水含氢氟酸浓度 800mg/L、氨氮 500mg/L、pH 值 1.5,且含有微量重金属离子。传统中和沉淀法虽能去除大部分污染物,但产水水质无法满足半导体生产用水电阻率>18MΩ・cm 的要求。杰鲁特技术团队经小试实验,开发出 “分级中和 - 离子交换 - 电去离子(EDI)" 的超纯水回用工艺。
工艺前端采用 “石灰乳分段中和 + 板框压滤",将氟离子浓度降至 10mg/L 以下;中段利用螯合树脂选择性吸附重金属,配合反渗透膜系统实现盐分截留;后端通过 EDI 装置进一步去除溶解性离子,产水电阻率稳定在 18.2MΩ・cm,各项指标达到 SEMI 国际标准。为应对水质波动,系统配置在线氟离子检测仪、电阻率传感器,实时联动加药系统与膜清洗程序
企业对中试数据高度认可,5 月 22 日签订总承包合同。项目建成后,废水回用率将达 90%,每年节省水费 1800 万元,同时减少 80% 的废水排放量,为企业新增 20% 的产能空间。
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