特点

• 控制精度高：线性度可达 ±0.3% F.S.，磁滞为 0.5% F.S.，能实现精确的压力控制 6 。

• 响应速度快：响应性为 0.2sec，可快速响应控制信号的变化，及时调整输出压力 6 。

• 功能丰富：具有压力显示、错误显示功能和直接记忆功能等。配备数字显示屏，控制状态一目了然。还支持 IO - Link 通信，除数据收集外，还可从顶部进行远程控制，便于监控运行状态 6 。

• 适用范围广：适用于洁净压缩空气（ISO1.3.2）。EVD-1500-008AN 采用禁油规格和不锈钢阀体，适用于半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N₂的压力控制，也适合空气（N₂）吹气 4 5 。

• 低压控制性能好：EVD-1500-008AN 设定压力为低压用时 0.01〜0.2MPa，标准时 0.02〜0.5MPa，灵敏度为 0.001MPa。采用特殊膜片结构，实现了低压范围内的高灵敏度调整 4 。

技术参数

• 电源电压：DC24V±10％（脉动率 1% 以下的稳定化电源） 5 。

• 输入信号：输出精度 ±6% 满刻度以下，模拟输出 1－5VDC（连接负荷阻抗 500kΩ 以上） 5 。

• 最高使用压力：700kPa 或 1000kPa 5 。

• 压力控制范围：0～500kPa 或 0～900kPa 5 。

• 耐振动性：98m/s² 以下 5 。

• 使用环境温度：5～50℃ 5 。

• 配管接管口径：Rc1/4 5 。

• 保护回路：有电源逆接保护、开关输出逆接保护、开关输出负荷短路保护 5 。

应用