接触式仪器中，典型代表为表面粗糙度测试仪，其通过触针与样品表面的直接接触来追踪并测量样品的表面轮廓。

非接触式仪器，则包括白光干涉仪和激光扫描显微镜，它们利用光学原理进行高精度的测量。

此外，原子力显微镜也是一种重要的非接触式仪器，其分辨率甚至可以达到亚纳米级别。

在对比各种仪器的性能时，我们可以发现它们在测量分辨率、高度测量范围、可测范围、角度特性以及数据分辨率等方面各有千秋。例如，表面粗糙度测试仪的测量分辨率通常为1纳米，而原子力显微镜则能达到更小的分辨率。同时，各种仪器在高度测量范围和可测范围上也有所不同，需要根据实际需求进行选择。

另外，值得注意的是，接触式仪器如表面粗糙度测试仪，其测量过程中触针与样品表面的接触可能会对样品造成一定程度的损伤。因此，在选择测量仪器时，需要权衡测量精度与样品保护的需求。而非接触式仪器则避免了这一问题，它们通过光学原理进行测量，对样品无损伤。

总的来说，选择哪种测量仪器应根据实际需求来定。在了解各种仪器的特点的基础上，我们可以根据测量任务的具体要求，如精度需求、样品特性等，来挑选合适的仪器。

在精确测量精致形状和粗糙度时，选择合适的接触式表面粗糙度仪至关重要。为了确保测量结果的准确性，触针的半径需要尽可能小，同时接触压力也要保持低水平。触针通常由蓝宝石或金刚石制成，其半径可达10微米或更小。此外，触针的形状也至关重要，圆锥形带有圆珠笔尖的设计常被视为触控笔的理想选择。在理想测量仪器中，锥体通常具有60°的锥度。