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关于滤光片的硬膜和软膜
阅读：4684 发布时间：2019/7/7
软镀膜
软镀膜是多层薄膜，由硫化锌、冷冻剂、有时甚至是银组成。对于传统的干涉滤光片，镀膜组件被层压在一个垂直的堆栈中，以提供抵御周围环境的保护，通常是从较大的晶圆上取下。考虑到所使用的材料和制造工艺，软镀膜易碎。镀膜材料经常被从滤光片的边缘移除，以避免镀膜因潮湿而退化，并增加镀膜的使用期限。
软镀膜的成本是由低成本的沉积设备、快速循环时间和廉价的基片来保持，但是由于密封和环形组件，操作成本很高。
软镀膜如果小批量生产，成本较高，如果产生一定批量的生产，会大大降低成本。
硬镀膜
硬镀膜薄膜是利用等离子沉积过程制作而成的，与软镀膜相比，它具有多个优势。等离子沉积过程是用计算机严格控制的，它甚至可以实现分层，拥有良好的环境适应性和更好的性能。例如，作为波长的一个函数，硬镀膜的透光率不仅更加一致，而且通常高于软镀膜的透光率
硬镀膜在可见光谱和紫外线中具有超过 90% 的透射率。另一方面，软镀膜无法达到 90% 的透射率，并且性能在紫外线附近显著下降。此外，起始和截止转换还有一些改进。软镀膜有个渐进的过渡，从没有透射率过渡到*透射率，而硬镀膜的过渡更陡.