1. 压电探测站主体框架（1 个）

压电探针台的主体框架用于安装压电衰减器支架和显微机械手、三目显微镜、显微机械手和底板。底板有足够的面积，可同时容纳至少四个微型机械手。底板和真空吸盘/热吸盘的布置便于探针针尖落在真空吸盘/热吸盘上的样品上。底板与带磁性底座的微机械手兼容。主体框架允许真空吸盘/热吸盘平台在 X-YZ 方向自由移动。底座结构坚固，带有 M6 锥孔，可在桌面上操作。

2. 卡盘

卡盘有一个 X-YZ 平移平台，XYZ 行程为 50 mm x 50 mm x 10 mm。卡盘与底座电气和热隔离。卡盘的漏电流不超过 100 pA。本产品提供两种卡盘，一种是真空卡盘，另一种是热卡盘。

a. 真空吸盘（1 个）

真空吸盘直径 100 毫米，表面镀金。真空吸盘可通过真空泵将样品牢牢固定在吸盘上。

b. 热卡盘（1 个）

温度范围：室温至 300°C，分辨率 ≤ ±1°C。

直径：100 毫米

热卡盘表面镀金。提供带数字显示的数字温度控制器，以及所有必要的电缆和附件。

热卡盘可在设定点保持温度 ~ 6 小时，温度稳定性 ≤ ±1°C。

3. 带微型机械手的压电衰减器支架（1 个）

微机械手的 XYZ 行程为 10 × 10 × 10 毫米，分辨率为 10 微米。此外，微机械手应能用螺钉拧紧机械固定在压板上。由绝缘材料（Peek）制成的刚性绝缘杆通过 M6 螺纹孔与衰减器相连。

系统提供两种类型的硬质绝缘杆（Peek 制）。

a) 在类型 1 中，硬质绝缘杆（Peek 制成）的一端有螺纹，适合与衰减器的 M6 插槽（10 毫米深）连接。绝缘杆的另一端有一个插槽，用于使用金属螺钉和适当的电线固定带弹簧的镀金 pogo 接头，以便与 SMU 进行电气连接。系统可提供直径为 1 毫米（10 个）、1.5 毫米（10 个）和 2 毫米（10 个）的圆形扁平 Pogo 吸头。系统还提供 10 根 Peek 材质的绝缘杆。

b) 在类型 2 中，绝缘杆（由 Peek 制成）是弹簧加载的，弹簧加载的刚性绝缘杆（由 Peek 制成）的一端有螺纹，适合与衰减器的 M6 插槽（深度为 10 毫米）连接。但是，绝缘杆的另一端具有不同直径的圆形平面和抛光表面，直径分别为 1 毫米（10 个）、1.5 毫米（10 个）和 2 毫米（10 个）。

    4. 带摄像头的三目显微镜（1 台）

三目显微镜具有旋转和平移功能，可观察工作区域，并可轻松将探针置于样品表面。一个基于视窗的显示系统配有合适的软件，用于查看和保存样品图像。显微镜具有以下规格：

光学系统 无限校正（200 毫米管镜头）

观察方法 明视野

反射照明（同轴和成角）

照明系统 高亮度白色 LED

鼻托 旋转式，四重，带正向精确单击止动装置

观察头 Siedentopf 三目观察头，30 度倾斜，48 - 75 mm IP 调节

目镜 宽视场目镜，10 倍，FN = 20 毫米，度数可调。

手动调焦

物镜

物镜 Plano apo 5X

NA 0.18

视场角 40 毫米（目镜视场角 = 4 毫米，CCD 视场角 = 1.31 x 0.984 毫米）

目镜放大 50 倍，相机放大 5 倍

相机规格

传感器尺寸：1/2 .5 英寸彩色 CMOS

有源成像器尺寸：6 .55 毫米（高）X 4.92 毫米（宽）

最大分辨率：2048 x 1536（3 Mp）

每秒拍摄速度：10 FPS（全分辨率

像素尺寸：3 .2 x 3.2 um

扫描类型 ： 逐行扫描

快门类型 电子滚动快门

曝光时间：0 .047 毫秒 - 3000 毫秒

数据格式：8 位 RAW、24 位 BMP

灵敏度 ： > 1.0 V / Lux - sec (550 nm)

光谱范围：380 - 650 纳米

信噪比：43 dB

宽动态范围：61 dB

清晰度 ： > 850 线

曝光模式 ： 自动/手动/区域

白平衡：手动 / 一次性 / 区域 / 自动

图像格式 ： raw / bmp / jpg / png

5. 带探针头的微型机械手（2 个）

微机械手用于在样品上精确移动和放置探针头，以进行电气测量。在两台微机械手中，一台为左手操作，另一台为右手操作，便于在样品上移动探针头：

1) XYZ 独立行程：10 x 10 x 10 毫米

2) 分辨率 - 10 μm；泄漏电流 - 100 pA

3) 探针针尖支架通过螺钉锁牢牢固定在微机械手上。探针头支架有一个合适的装置，可将探针头牢固地固定在上面。探针头支架与压电探针站的微动器、底板和底座电气隔离。探针头支架可进行低直流和交流（频率高达 1 MHz 或更高）电流测量。

4) 镀金钨针尖（数量 - 10 个），针尖直径：50 μm，与微机械手的报价针尖座兼容，装在盒子/包里。

5) 微机械手可将探针与光学测量仪器（如光源测量单元（SMU）和 C-V 表）进行电气连接。