规格

手动微型机械手：2 个

轴：4 （XYZ 和倾斜）

X 行程：25 毫米

Y 向行程：25 毫米

Z 行程：10 毫米

倾斜：+/- 3 度

带BNC 输出的测头支架

45 度非金属探头支架

90 度非金属探头支架

磁性底座

附文

材料： 黑色喷漆 MS

输出端口：BNC 连接器（4 个）

N2 进气口和出气口：各 1 个

相机 USB 接口：1 个

电源插座和开关： 带铰链和锁的门

显微镜照明控制旋钮。

湿度传感器

此盖并非密封。会有轻微泄漏。

在零度以下时，客户需要在外壳中注入 N2 以减少基片支架上的结冰。

  选配

1. LWD Plan Apo 10 倍显微镜物镜

NA: 0 .30

工作距离：31 毫米

目镜视场角：2 毫米

相机视场角：0 .57 毫米 x 0.428 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 显微镜物镜

NA: 0 .35

工作距离：29 毫米

目镜视场角：1 毫米

照相机视场角：0 .285 毫米 x 0.214 毫米

3. LWD Plan Apo 50X 显微镜物镜

NA: 0 .50

工作距离：17 毫米

目镜视场角：0 .4 毫米

照相机视场角：0 .114 毫米 x 0.0856 毫米

4. 探头： 5 个

探头直径：50 毫米

材料：钨

5. 热卡盘： 1 个

卡盘直径：100 毫米

温度范围：RT - 200º C

温度精度：+/- 10º C

热传感器

温度控制软件

磁性 SS 显微机械手压板、支撑架、底板、显微镜手动 XYZ 平台：1 套

压板：磁性 SS

压板支撑架：高度 可调

底板：黑色 阳极氧化铝

显微镜 XYZ 平台

XYZ 行程：100 毫米 x 100 毫米 x 100 毫米

导轨：精密 滚珠滑轨

驱动：精密 导螺杆

导螺杆：1 mm 间距

导螺杆类型 ： 地面

定位精度：10 微米

结构：黑色 阳极氧化铝

带真空吸盘和冷却吸盘的 XYZ 手动样品架：1 套

顶板直径：100 毫米

X 轴：25 mm 行程

Y 轴：10 mm 行程

Z 轴：10 毫米行程

XYZ 分辨率：10 微米

冷却卡盘和外壳

温度范围：RT 至 -20°C

温度精度：+/- 1°C

软件控制

探针台 三目显微镜及其支架：1 套

    光学系统 无限校正

观察方法 明视野

反射照明（同轴和成角度）

照明系统 高亮度白光 LED

旋转鼻托，四重，带正向精确点击止动装置

观察头 Siedentopf 三目观察头，30 度，48 - 75 mm IP 调节

目镜 10 倍宽视场目镜，FN = 20 毫米，度数可调

手动调焦

显微镜物镜

    长工作距离平面变色

放大倍率 5 X

数值孔径 0.14

工作距离 40 毫米

目镜视场角 4 毫米

FOV 相机 1.14 mm x 0.856 mm

相机规格

光学格式 1/2.5" CMOS

有源成像器尺寸 5.70 毫米 x 4.28 毫米，对角线 7.13 毫米

有效像素 2592 x 1944（500 万像素）

像素尺寸 2.2 x 2.2 um

彩色滤光片阵列 RGB 拜尔模式

快门类型 电子滚动快门 (ERS)

帧频 全分辨率 - 高达 7 帧/秒，VGA - 高达 26.7 帧/秒

ADC 分辨率 12 位，片载

像素动态范围 70.1 dB

工作温度 -30ºC 至 +70ºC

灵敏度 1.76V / lux - sec (550nm)

全分辨率 7 fps 时功耗 381 mW

接口 USB 2.0

图像采集软件