Holmarc 的探针台显微镜配备了无穷远校正光学系统，用于观察和将探针置于样品触点上。经过高度校正的长工作距离全变色物镜可提供超高质量的图像。长工作距离计划全色物镜可观察多层样品。HO-PSM 系列显微镜配有四重旋转鼻托（4 镜切换转塔），物镜安装螺纹为 M26 X 0.706，准焦距为 95 毫米。高亮度白光 LED 灯（带强度可调选项）可用于显微镜和角度照明。

应用领域包括故障分析、LED、MEMS、光电子、器件表征、晶圆级可靠性等。我们提供一整套附件，使您能够定位、导航和接触晶圆或被测设备。

规格

显微镜

光学系统：无限校正（200 毫米管状镜头）

观察方法：明视野

照明 ： 反射式（同轴和成角度）

照明系统：高亮度白色 LED

鼻托：旋转式，四重，带正向精确单击停止装置

观察头：Siedentopf 三目观察头，30 度倾斜，48 - 75 毫米 IP 调节

目镜：宽视场目镜

放大倍率：10 倍，FN：20 毫米

镜筒直径：30 毫米，屈光度可调

调焦：滚轮导轨（齿轮齿条式）

物镜：Plan Apo 5X

类型：长工作距离 Plan Apochromatic 物镜

NA：0.14，工作距离：34 毫米，焦距：40 毫米

带目镜时的视场角：4 毫米

带相机的视场角：1.14 x 0.856 毫米，1.426 对角线

相机规格

光学镜头：1/2.5 英寸 CMOS

有源相机尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，对角线 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（5 百万像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色滤光片阵列：RGB Bayer 模式

快门类型 ： 全局重置释放 (GRR)、仅快照、电子滚动快门 (ERS)

最大数据速率/主时钟：96 Mp/s（96 MHz，2.8 V I/O），48 Mp/s（48 MHz，1.8 V I/O）。

帧频 ： 全分辨率 - 可编程至 15 帧/秒，VGA（640 x 480，带分档） - 可编程至 70 帧/秒

ADC 分辨率：12 位，片内

像素动态范围：70.1 dB

工作温度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 时为 381mW

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