规格

 手动微机械手：8 个

 轴：4（XYZ 和倾斜）

 X 行程：10 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 倾斜：+/- 3 度

 磁性运动 - 类似磁性底座

 探头固定装置

 2. 底板，机械手 SS 磁性底板，可调节支撑架 3.

 3. XYZ 手动样品支架，带 4" SS 卡盘 = 1 套

 X 行程：25 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 4. 探针台双目显微镜，带 Boomstand 和 Z 聚焦台=1 套

 光学系统：无限校正

 观察方法：明视场

 照明 ： 反射式（同轴和成角度）

 照明系统：高亮度白色 LED

 鼻托：旋转式，四重，带正向精确单击停止装置

 观察头：Siedentopf 三目观察头，30 度，48-75 毫米 IP 调整

 目镜：10 倍宽视场目镜，FN = 20 毫米，光圈可调。

 调焦：手动 Z 平台

 物镜：LWD Plan Apo 5 倍（NA = 0.14，WD = 34mm，视场角目镜 = 4mm，视场角相机 = 1.14mm x 0.856mm，对角线 1.426）

项目包括

 1. 带 8 个微型机械手的探针站

 2. 底板、机械手 磁性 SS 底板、可调支撑架

 3. XYZ 手动样品支架，带 4" SS 卡盘

 4. 探针台双目显微镜，带 BOOM 支架和 Z 聚焦台

相机规格

光学格式：1/2.5 英寸 CMOS

有源成像器尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，对角线 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（500 万像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色滤光片阵列：RGB Bayer 模式

快门类型 ： 电子滚动快门（ERS）

帧频 ： 全分辨率 - 高达 8 帧/秒，VGA - 高达 70 帧/秒

ADC 分辨率：12 位，片载

像素动态范围：70.1 dB

工作温度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 时为 381mW

接口：USB2.0