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全自动离子溅射仪具有简单易用的交互设计

阅读:53      发布时间:2025-5-16
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  全自动离子溅射仪简单易用的交互设计:
  1. 模块化操作界面
  分步提示:
  屏幕显示当前步骤(如“正在抽真空”“开始溅射”),并实时更新进度条。
  异常状态自动弹窗报警(如真空度不足、靶材耗尽),并提供解决方案提示。
  参数互锁保护:
  限制参数输入范围(如电流不超过靶材最大承受值),避免误操作导致设备损坏。
  2. 免维护设计
  靶材更换便捷:
  采用卡扣式或磁吸式靶材座,无需工具即可更换靶材。
  靶材尺寸标准化,兼容常用规格。
  清洁维护简化:
  溅射腔室采用耐腐蚀材料,定期用清水或酒精擦拭即可。
  可选配自动清洁模式。
  3. 安全与合规性
  多重防护机制:
  门禁保护:舱门未关闭时无法启动溅射,防止紫外线暴露。
  过流保护:电流超过设定值时自动切断电源,保护靶材和样品。
  符合标准:
  通过CE认证,电气安全性和EMC电磁兼容性符合国际要求。
  全自动离子溅射仪使用注意事项:
  1.靶材与样品距离:
  根据溅射速率需求调整靶材与样品台的距离,距离越近镀膜速率越高。
  2.气体选择:
  惰性气体用于金属溅射,反应性气体可用于氧化物镀膜。
  3.冷却系统:
  长时间连续工作时需检查散热系统,避免靶材过热变形。

 

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