微量氧检测仪在工业生产、实验室、半导体制造等领域应用广泛，但其使用过程中常遇到一些问题。

一、常见问题及解决方案

1. 传感器寿命短

• 原因：

• 暴露于高浓度氧或腐蚀性气体；高温、高湿环境；频繁校准不当。

• 解决：

• 避免传感器接触>1000ppm的氧浓度；在干燥、常温环境下使用；定期校准（建议每3-6个月一次）。

2. 读数不稳定或漂移

• 原因：

• 气路污染（油脂、水分、颗粒物）；传感器老化；电磁干扰。

• 解决：

• 清洁气路；更换传感器；远离变频器、电机等干扰源。

1. 响应速度慢

• 原因：

• 气路堵塞或泄漏；传感器性能下降。

• 解决：

• 检查气密性，确保流量稳定、更换传感器。




• 二、方案

• 传感器维护

• 电化学传感器：定期检查电解液是否干涸，储存时密封避光；

• 氧化锆传感器：避免硫化物、卤素气体污染，高温环境下需定期活化。

• 环境控制

• 检测环境湿度需<60%RH（可加装干燥管）；

• 采样气体需过滤颗粒物（0.1μm过滤器）。

  
  

• 三、量程选择建议

• 常规量程参考

  应用场景	推荐量程	传感器类型
  高纯气体（如氮气、氩气）	0-10ppm	电化学/激光光谱
  半导体工艺腔体	0-100ppb	氧化锆/光学传感器
  工业过程控制（如焊接）	0-1000ppm	电化学
  环境空气监测	0-25% vol	顺磁/电化学

• 精度需求：低浓度（ppb级）优选激光或氧化锆传感器；

• 响应速度：电化学传感器响应较慢（秒级），光学传感器更快（毫秒级）；

  
  

• 四、其他注意事项

• 交叉干扰：如电化学传感器可能受H₂、CO₂影响，需选择抗干扰型号；

• 防爆要求：石化等场景需选防爆型（ATEX认证）；

• 通过合理选型、规范维护和定期校准，可显著提高微量氧检测仪的可靠性和使用寿命。