气体质量流量计与质量流量控制器是指主要适用小微流量（从0.000001m³/小时到300m³/小时，对应管径从直径3mm到65mm）气体测量和控制的传感器和自动化设备。按原理分类主要有两种：1、层流压差原理的气体质量流量计与质量流量控制器；2、热式原理的气体质量流量计与气体质量流量控制器。

层流压差原理图

层流压差原理的质量流量计和流量控制器，因其原理特点，只需检测到气体压差、压力和温度，即可测控气体流量。易度自主设计的传感器可检测到极微小流量下产生的压力、压差，因此易度质量流量计和质量流量控制器可测控极微小气体流量，标准型最小测控量程0.5sccm（更小量程可定制）。那么0.5sccm是个什么概念？

易度层流压差流量计

0.5sccm是标准状况下0.5ml/min（毫升每分钟），

也就是500uL/min（微升每分钟），

按正常量程比：100:1来算，其实际测控范围是5uL/min~500uL/min，

最小测控流量5uL/min是什么概念?

83nL/s（纳升每分钟）。这个流量有多小？

举例来说：一瓶矿泉水通常容积为550mL，如果给矿泉水空瓶充满气体到标况温度和压力下，大约需要110000分钟，1833个小时，76天。

易度极微小层流质量流量计和流量控制器满足极微小流量测控需求，非常适合在泄漏测试、气密性测试、微通道反应系统等行业场景下使用。

泄漏测试-医药行业包装

气密性测试-燃料电池电堆

气密型测试设备    

 微通道反应系统