仪器基本原理
核心部件:PSD(Position Sensitive Detector),由 P 衬底、PIN 光电二极管及表面电阻组成,能测量光点在测量面上的连续位置变化,与 CCD 探测器相比,具有位置分辨率高、光谱响应宽、响应速度快等优点
测量原理:以激光束为直线基准,在空气中沿理想直线传播,通过 PSD 接收器测得被测对象表面或运动机构的位置偏移量,再由测量软件根据各测量点偏移量计算得到各项参数。
功能与性能
- 测量功能:可测量直线度、平行度、垂直度、平面度、轴线偏移等,能同时测量高低和水平两个方向,支持公差带显示、分段评价、数据比较,实时绘制误差曲线图,采用端点法、最小二乘、最小区域等算法。
产品特色
- 高精度双轴 PSD 接收器,分辨率达 0.1μm。
一键调光,改变传统调光方式,提高测量效率,一次可将两端偏差调整到微米级。
长距离调光工具,微调分度值 0.5μm。
自动测量单元 AMU80,测量距离 0.03m - 80m,精度 ±(1mm + 0.05% D),输出频率最高 20Hz。
棱镜 VP5 - 20,精度 90°±1″,可 3 个方向调节,适用于大跨距平行度与垂直度测量。
性能指标:系统误差(MPE)为 ±(1%・L + 1μm),分辨率最高 0.1μm,棱镜垂直偏差 ±1″,测量范围 10mm×10mm(双轴),最大测量距离 0 - 50m。
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