当前位置:武汉君为科技有限公司>>技术文章>>精品网站在线免费观看 镀膜机技术参数
该设备由真空室、真空机组和电气系统组成
1. 真空室
圆形形腔体,侧部抽气,正面开门。不锈钢材质,配 DN60 观察窗(含防污挡板)、预抽接口、充气接口; 内部有底板、蒸发源等;
2. 真空系统及进气
采用 110L 分子泵+4L 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接,配有复合式数显真空测量仪表。
3. 电气系统
电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构,有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源,数显。
4. 膜厚测量装置:采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套(选配)。
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