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精品视频一区二区三区 气动波纹管泵的特点是什么

时间:2023/5/8阅读:521
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FLP系列的特点

  • 低脉动

  • 驱动机构将波纹管的运动控制到消除泵脉动的最佳相位。实现极低脉动运行。( PAT。)

  • 适用于单晶圆工艺的出色负载跟随性

  • 通过进行相位控制,提高了负载变动时的跟踪性能。特别是在单晶圆工艺等压力波动频繁的生产线中,其高负载跟随性可实现吐出量和吐出压力的稳定运行。

  • 无需阻尼器,节省空间

  • 由于不需要安装阻尼器,因此可以节省设备空间。配管作业简单,可减少氟树脂接头等昂贵的配管材料,有助于实现设备的小型轻量化。

  • 安全设计

  • 波纹管焊接结构,防止漏液,即使波纹管破损,采用漏液传感器检测漏液情况


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