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瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。
可加热各种流体
瞬间且稳定的流体加热
质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热
该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块，加热部分与流体不直接接触，可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。
在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。
通常，配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点，即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心，从而达到稳定加热的目的。
在半导体制造工艺中，不仅需要对气体进行加热处理，气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量，加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构，适合与质量流量控制器输出端连接使用。
最高加热温度200℃的小型气体加热器。
面间距160㎜×长度55㎜的紧凑型设计
可将10SLM的N2加热至200℃
接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质，可加热对其无腐蚀性的气体
真空、加压条件下也可使用
HX-0020
液化气体通常用于ALD(原子层沉积)和CVD(化学气相沉积)等真空沉积工艺，但用室温气体吹扫会发生冷却、冷凝的现象，从而使吹扫效果大打折扣。热吹扫则有效解决了这一问题。小型气体加热器HX-0020系列的的空间面积与MFC所差无几，且最高加热温度为200℃，可对使用端(POU)附近的气体进行加热，因此成为了ALD和CVD等真空沉积设备热吹扫工艺的理想选择。
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部分材质 | |
| 规格 | 10SLM | 14kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不锈钢 |
※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。
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