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瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。
可加热各种流体
瞬间且稳定的流体加热
质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热
该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块，加热部分与流体不直接接触，可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。
在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。
通常，配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点，即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心，从而达到稳定加热的目的。
在半导体制造工艺中，不仅需要对气体进行加热处理，气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量，加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构，适合与质量流量控制器输出端连接使用。
可将50SLM的N2气体加热至200℃的小型热交换器。
HX-0050A
面间距158㎜×长度80㎜×高80㎜的紧凑型设计
最大流量50SLM
最高使用温度200℃
接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质，可加热对其无腐蚀性的气体
真空、加压条件下也可使用
防止蚀刻设备排气管路堵塞
半导体制造设备和FPD(平板显示器)制造设备情况下，反应气体被送到排除设备的过程中，会部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用热N2气体稀释是解决方法之一，但是仅通过管道外部带状加热器加热无法得到理想的效果。紧凑型热交换器HX-0050A系列可充分加热流体，最大限度减少此类堵塞问题的发生。
| 流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接气体部分材质 | |
| 规格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不锈钢 |
※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。
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