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二氧化硅抛光液作为最终精抛光液，配合阻尼抛光布得到了广泛的应用，是比较理想的氧化物抛光液。结晶二氧化硅抛光液在使用过程中由于结晶温度较低且容易蒸发，可能在抛光表面形成难以去除的晶体。在使用结晶二氧化硅抛光液后，建议立即清洗抛光布，以防结晶。非结晶二氧化硅抛光液则不用担心二氧化硅的结晶现象，因此具有一定的优势，尤其在振动抛光的应用中。
优势1. 不发生结晶，抛光后不需要立即清洁。
优势2. 自动滴液系统的好选择，不容易发生堵塞。
优势3. 更加适合需要长时间抛光的工件，比如钛合金等。
优势4. 适用于需要振动抛光的工件。
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