德国BECKER(贝克)作为全球干式真空技术者,其VX4.25无油旋片泵以革命性的无油设计和工业级可靠性,成为半导体、医疗和科研领域的先进产品。以下是其核心技术特点:
PTFE复合旋片系统:自润滑碳纤维增强旋片,无需油润滑
无污染设计:通过ISO 8573-1 CLASS 0认证,极限真空达0.5mbar(abs)
温差自适应:特别的热补偿腔体设计(-10℃~+40℃稳定工作)
双级压缩系统:采用高精度铝合金缸体,比单级效率提升35%
强化轴承单元:SKF特种轴承,MTBF>50,000小时
模块化维护:所有易损件可徒手更换(维护时间<30分钟)
变频驱动:转速300-1800rpm无级可调(节能模式功耗<1.2kW)
IoT就绪:集成RS485接口,支持MODBUS-RTU协议
自诊断系统:实时监测轴承温度/振动(预警阈值可编程)
低噪音设计:62dB(A)@1m(配备特别消音器)
耐腐蚀版本:可选全不锈钢流道(针对酸性气体)
多安装方式:支持水平/垂直安装,抗冲击5G
半导体特别供版:加装分子筛 traps(防止微粒反流)
医疗级型号:符合EU GMP Annex 1洁净度要求
防爆认证:ATEX Zone 2/22(电机防护等级Ex nA IIC T4)
分析仪器:质谱仪真空系统
光伏制造:硅片镀膜设备
医疗灭菌:真空蒸汽灭菌柜
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