精品视频一区二区三区 KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特点
无油洁净:采用无油干式设计,无需油封,避免了油蒸汽对环境和工艺的污染,特别适合在对洁净度要求的洁净室环境以及敏感工艺中使用,如半导体制造、液晶显示器生产、LED 制造和光伏产业等。
高抽速、低能耗:运用优化的 Roots 转子结构,能提供高达 1660L/min 的稳定抽速,可满足中高负载的真空需求。同时配备低功耗电机,运行能效比优于同类产品,功率约 0.25kW,在实现高效抽气的同时降低了能耗。
结构紧凑:尺寸为 450×230×275mm,体积小巧,重量约 60kg,占地面积小,便于集成到空间受限的自动化设备或成套系统中,适合设备集成和改造项目。
维护便捷:部件寿命长,维护周期长,且采用易于维护的设计,降低了维护成本和停机时间,能有效减少运营成本。
适配性强:可兼容多种工艺气体环境,适用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀、封装等多种半导体及相关行业的工艺流程,具有很强的通用性和适应性。
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