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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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【高斯摩分享】什么是扫描电子显微镜？
2025-5-27 阅读(70)
扫描电子显微镜通过高能电子束扫描样品表面，生成纳米级分辨率图像，并搭载EDS（能谱仪）实现元素分析，是化工材料微观表征的顶级工具。
技术原理
电子光学系统：场发射电子枪（冷场或热场）提供高亮度电子束。
信号检测：二次电子（SE）与背散射电子（BSE）成像，揭示样品形貌与成分差异。
联用技术：EDS探测器（如牛津仪器X-MaxN）可同步进行元素面分布分析。
化工领域应用
催化剂研究：观察活性金属颗粒的分散度与载体结构。
高分子材料：分析共混材料的相界面结合状态。
涂层检测：评估防腐涂层厚度与孔隙率。
核心优势
超高分辨率：SU9000型号分辨率达0.4nm（30kV）。
低电压观测：1kV以下低加速电压减少对非导电样品的损伤。
自动化功能：自动对中、图像拼接、3D表面重构。
选型要点
电子枪类型：冷场发射（高分辨率）或热场发射（稳定性优先）。
样品室尺寸：适配块状、粉末或薄膜样品（最大可至200mm晶圆）。
扩展功能：可选配EBSD（电子背散射衍射）用于晶体结构分析。
维护与校准
每日开机前执行电子枪预热与束流稳定程序。
每月清洁样品室，避免粉尘污染探测器。
每年由厂商进行光轴校准与真空系统维护。
