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【高斯摩分享】 罗茨真空泵（机械增压泵）
2025-6-4 阅读(71)
ULVAC爱发科 罗茨真空泵（机械增压泵）应用
什么是机械增压泵？
机械增压泵是一种可以大幅提高泵送速度的泵。
机械增压泵的特点
通过与油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵组合，在粗抽泵排气速度下降的压力范围内，可以大幅提高排气速度。
【优点】在10KPa~0.1Pa的压力范围内，可大幅提高抽速。
【缺点】无法依靠大气压自行运转。
机械增压泵的工作原理
机壳内的两个茧形转子通过轴端的驱动齿轮同步反向旋转。从进气口进入的气体被困在机壳与转子之间的空间内，随着转子的旋转而从排气口排出，再由下游级的辅助泵排入大气。
（罗茨真空泵作为一种高效的真空设备，其工作原理依赖于转子在泵腔内的高速旋转，通过吸气、压缩和排气的过程实现抽真空。）
机械增压泵的主要用途
半导体制程、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、太空开发、真空浸渍、真空干燥等。
应用行业
化工、医药、食品、电子、环保领域、冶金行业、半导体制造行业
化工行业
在化工生产中，罗茨真空泵广泛应用于真空蒸馏、真空干燥和真空浓缩等工艺过程中。通过抽真空降低系统压力，有助于降低物料的沸点，提高反应速率和产品质量。
医药行业
在医药制造过程中，罗茨真空泵常用于真空干燥、真空混合等工序。这些工序对于药品的纯度和质量至关重要，因此罗茨真空泵在医药行业具有广泛的应用前景。
食品行业
在食品加工中，罗茨真空泵可用于真空包装、真空脱气等环节。通过抽真空可以延长食品的保质期，提高产品的口感和品质。
电子行业
罗茨真空泵在电子行业中主要用于半导体制造工艺。由于半导体制造对真空系统的性能要求高，尤其是需要有效清除腐蚀性气体、微细粉尘及有害气体等杂质，罗茨真空泵在这些领域中发挥着重要作用。
环保行业
罗茨真空泵在环保领域也有应用，例如在处理工业废气时，通过抽真空可以有效去除有害气体，保护环境。
冶金行业中，罗茨真空泵被用来抽取炉内的空气，以创造一个无氧环境，从而提高冶炼的质量和效率。
半导体制造中的应用包括：
薄膜沉积：在沉积薄膜的过程中，罗茨真空泵能够去除反应室中的气体杂质，确保薄膜的质量和均匀性。
光刻：在光刻过程中，罗茨真空泵确保反应室的真空度，保证光刻胶的均匀涂布和曝光效果。
蚀刻：在蚀刻过程中，罗茨真空泵维持所需的真空度，确保蚀刻过程的精确控制。
