手机版
化工仪器网手机版
化工仪器网小程序
官方微信
公众号：chem17
扫码关注视频号
概述
它在强度，热传导和热量冲击方面表现出色。我们的音量阻力控制技术允许广泛的温度范围。
特征
广泛的温度支持范围（-50至700℃）
它具有高强度，高热电导率和高热冲击性。陶瓷用作介电底物，音量电阻率控制允许多种低温，中和高温。
耐腐蚀性
它具有好的对卤素气体（例如氟基气）的耐腐蚀性。
晶片背面的低粒子加工
通过表面处理和特殊清洁，它可以达到低粒径。
高纯度
它可以适应99.9％或更多的纯度。
功能
除了晶圆吸附函数外，Nippon Gaishi的静电Chuck还可以添加各种功能。
加热
高度精确的加热元件掩埋技术使与陶瓷加热器集成成为可能，从而达到晶圆表面温度以下±1％。
冷却
通过将陶瓷板粘合并连接给冷却板的陶瓷板，它具有高的冷却性能。
RF电流兼容的散装电极
散装电极同时提供了晶圆和RF等离子体产生的简单稳定的吸附。
规格
| 尺寸 | 与200mm，300mm和450mm晶片兼容 |
|---|---|
| 吸附机制 | （Aln），库仑 （AL2O3） |
| 电极形状 | 双极或单极 |
Aln的材料特性
[典型价值]
| 氮化铝 | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 纯度 | （％） | 95 | 99 | 99 |
| 密度 | [g/cc] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 音量电阻率 | [ωCM]（RT） | > 1E+15 | 1E+8〜+13 | > 1E+15 |
| 导热率 | [W/MK]（RT） | 170 | 100 | 80 |
| 热扩展系统的数量 | （RT） | 5.7（1000℃） | 5.6（1000℃） | 5.6（1000℃） |
| 力量 | [MPA]（RT） | > 300 | > 300 | > 250 |
| 年轻的速度 | [GPA]（RT） | 300 | 300 | 300 |
| 介电常数 | （13.56MHz，RT） | 8.6 | 8.8 | 8.6 |
相关产品
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
采购中心