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1.1 定义
XRF通过测量样品受X射线激发后发射的特征荧光X射线，实现元素成分定性与定量分析，适用于金属、矿物、塑料等材料。
1.2 工作原理
激发源：X射线管（Rh靶）或放射性同位素（如Co-57）。
能量色散（EDXRF）：硅漂移探测器（SDD）分辨元素特征能量。
波长色散（WDXRF）：分光晶体分离不同波长，精度更高。
1.3 技术参数
| 参数 | 典型值 |
|---|---|
| 元素范围 | Be（4）~ U（92） |
| 检测限 | ppm级（重金属元素） |
| 分析速度 | 10~300秒/样品 |
| 样品室尺寸 | 可容纳直径300 mm样品 |
1.4 应用场景
RoHS检测：电子元件中Pb、Cd、Hg等有害元素筛查。
地质勘探：矿石中金属元素品位快速评估。
镀层分析：测量电镀层厚度（如Zn镀层0~50 μm）。
1.5 选型指南
台式 vs 便携：实验室分析选台式（如Shimadzu EDX-7000），现场检测选手持式（如Olympus Vanta）。
真空系统：轻元素（Na、Mg）检测需真空或氦气环境。
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