150W/13.56MHz射频电源,专用于精密干法清洗与表面活化。内置2L高纯石英腔体,支持手动阻抗匹配(50Ω),电容耦合,真空度≤50Pa。紧凑设计(450×450×360mm),集成射频控制、观察窗(Φ50)及强制风冷系统。
拓展使用场景
半导体/电子:芯片封装前清洗(COG工艺)、PCB除胶、继电器触点活化。
材料改性:塑料/橡胶粘接面活化、陶瓷金属镀膜前处理。
科研医疗:生物传感器清洗、细胞培养器皿亲水化、实验器械灭菌。
教学演示:直观观察等离子体反应过程(通过观察窗)。
核心优势
精密清洗:13.56MHz射频精准控制,避免材料损伤,适配敏感样品(如纳米器件)。
安全灵活:石英腔体耐腐蚀,气体流量可调(0-50ml/min),兼容多种工艺气体。
紧凑高效:一体式机箱节省空间,手动控制简化操作,风冷控温(<65℃)保障连续运行。
多材质兼容:处理塑料、金属、陶瓷等,解决传统湿法清洗无法处理的微孔结构。
低成本维护:固态电源技术稳定性高,开盖方式(铰链侧开)便于腔体清洁。
差异化亮点:兼顾科研级精度与工业可靠性,小型化设计填补实验室与生产线之间的设备空白。
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