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ICP质谱仪是一种高灵敏度的分析仪器，在环境监测、生物医学、地质勘探等领域发挥着重要作用。
ICP质谱仪基于带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，将电感耦合等离子体(ICP)技术与质谱(MS)技术相结合进行元素分析。样品先被引入高温等离子体炬管中，样品基体被离子化形成诸多粒子，其中待测元素离子化的部分是分析对象。这些离子被纯化提取出来后引入质谱仪部分，在质谱仪中，离子根据其质荷比(m/z)进行分离，不同质荷比的离子在电场和磁场的作用下沿不同路径运动，然后到达检测器被检测到电信号并记录到软件中，进而得出样品中各元素的性质和含量信息。
ICP质谱仪较为重要的应用是分离同位素并测定它们的原子质量及相对丰度。测定原子质量的精度超过化学测量方法，大约2/3以上的原子的质量是用质谱方法测定的。由于质量和能量的当量关系，由此可得到有关核结构与核结合能的知识。对于可通过矿石中提取的放射性衰变产物元素的分析测量，可确定矿石的地质年代。
质谱方法还可用于有机化学分析，特别是微量杂质分析，测量分子的分子量，为确定化合物的分子式和分子结构提供可靠的依据。由于化合物有着像指纹一样的特殊质谱，ICP质谱仪在工业生产中也得到广泛应用。
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