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真空快速退火炉有低真空型号(10-3hPa)、高真空型号(10-6hPa)；可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制；全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置。
应用领域：
离子注入/接触退火；
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
SiAu, SiAl, SiMo合金化；
低介电材料；
晶体化，致密化；
太阳能电池片键合。
硬件更换：
1.加热灯管更换：加热灯管超过使用寿命或无法点亮时需进行更换。加热灯管的使用寿命为3000小时，高温状态下会降低其使用寿命。
2.真空泵油更换：在使用过程中，请每季度固定观察1次真空油表，当油表显示油量低于1/3时请添加真空泵润滑油到油表一半以上。
3.热电偶更换：当热电偶测温不正常或者损坏时需进行更换。热电偶的正常使用寿命为3个月，随环境因素降低其寿命。
4.O型圈的更换：O型圈表面有明显破损或者无法气密时需进行更换，其寿命受外力以及温度因素影响。
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