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【SIMCO思美高】适用于半导体前后端处理的ESD静电控制解决方案

工业知识堂

电动螺丝刀，别名电批、电动起子，是用于拧紧和旋松螺钉用的电动工具。该电动工具装有调节和限制扭矩的机构，主要用于装配线，是大部分生产企业的工具之一。

在半导体制造过程中，静电是一个需要严格控制的因素，因为即使是微小的静电放电也可能损坏敏感的电子元件或导致尘埃粒子吸附在晶圆表面，从而影响产品的成品率和可靠性。

在整个半导体制造过程中都会产生静电荷，主要由不同材料的接触和分离引起。静电荷通过三种方式影响生产率和良率，静电荷会静电吸引（ESA）空气中的颗粒，从而导致晶圆和光罩的潜在良率损失。

日本SIMCO思美高产品在半导体领域的应用主要集中在静电控制和除静电设备方面，以减少生产中的静电和微粒对半导体制造过程的影响。SIMCO思美高的静电控制和除静电设备、离子棒和离子风机等设备通过电晕放电产生正负离子，中和空气和工作表面的静电荷，从而减少静电吸附和放电对半导体制造过程的影响。

产品介绍

1. 离子风机

   
   

   
   

   ostat XC2静电除尘风机

   
   

Aerostat XC2静电除尘风机

提供全面的大面积电离保护，其设计和制造旨在实现可靠、长期的静电控制。其轻量化设计使 Aerostat XC2可以安装在工作台面上方，这对于平板显示器模块组装尤为有效。

特点：

轻量化设计

大面积、近乎对称的电离区域覆盖

±10V自平衡(“微脉冲”)技术

易于使用的内置发射器清洁器

集成加热器，用于暖空气流动

Aerostat PC2台式离子风机

Aerostat PC2台式离子风机内置发射点清洁器，结构紧凑轻巧，可为目标微环境提供的电荷中和效果，并可轻松安装在工艺工具内部。其风速足够，可在台式工作台面上控制高达4 英尺(约 1.2 米)范围内的静电。

特点：

1英尺放电时间小于2.0 秒

轻巧、紧凑、安静，使用时不会引人注目

本地警报 LED、设施监控系统(FMS)连接和可选声音警报