在半导体材料、光电器件（如太阳能电池、LED、光电探测器）的研发与测试中，高效、精准且灵活的光电性能表征平台至关重要。传统测试往往需要在不同设备间切换，配置复杂光路，效率低下。本文将为您介绍一款集成化设计的高性价比光电测试探针台系统，融合精密电学测量与灵活光学激励能力。

核心优势：一体集成，灵活高效

• 多源激励全谱覆盖：系统支持从紫外 (200nm) 到红外 (2500nm) 的宽光谱光源，包括氙灯复合光源、激光器、LED 等。三光栅单色仪结合消二次色散设计，确保高纯度的单色光输出

• 光路灵活尺寸可控：提供聚焦照明与均匀照明两种模式，光斑尺寸可在 1微米至5毫米 的广阔范围内精确调节，满足微区测试与大面积扫描的不同需求。

• 软件驱动智能控制：配套软件是系统的“大脑”，突破性地集成控制光学激励源、电学测量仪表（数字源表）及运动平台。用户可自定义复杂的参数扫描序列（如波长-电压-电流组合），极大简化测试流程。

• 模块扩展功能强大：基础平台支持选配光致发光光谱 (PL)、电致发光光谱 (EL) 等高级测试模块，满足前沿研究需求。

核心部件参数详解

• 精密探针台 (QTY: 1)：

兼容六英寸晶圆或芯片。

高精度四探针系统，定位底座分辨率达 0.7微米。

双通道低噪声电学探测接口，支持旋转测量。

配备 3.5微米分辨率光学显微镜 及 2000万像素工业相机** (1X-5X数码变焦)，实现精准观测与定位。

提供多种规格探针 (10/20/50/100μm)。

• 智能可调光源 (QTY: 1)：

氙灯光源：150W功率，覆盖 200nm - 2500nm 光谱。

三光栅单色仪：焦距300mm，非对称光路，有效抑制杂散光。

灵活输出：单色光范围250-1700nm，带宽连续可调 (典型30nm)，配备适用200-1800nm的六位滤光片轮。

φ200mm 积分球：提供均匀照明，含毫秒级快门控制。

全自动控制：软件控制波长扫描、滤光片切换、步长、延迟时间等。

定制光纤输出：便于光路灵活配置。

•  高性能数字源表 (QTY: 1)：

宽范围输出/测量：电压 (±200mV~200V)，电流 (±1μA~1A)，功率20W。

超高精度：电流分辨率达 0.1fA，电压分辨率 1μV。

四象限工作：可无缝切换源与阱模式。

丰富功能：内置电压比较器，数字I/O，支持触发扫描。

多接口通讯：GPIB, RS-232, USB, LAN。

• 多功能测试软件 (QTY: 1)：

集成控制：统一界面控制光源、源表、运动平台等设备。

参数设置灵活：可配置输出通道、测量通道、扫描模式 (电压、电流、光波长等)、步长、延迟、循环次数等。

丰富曲线绘制：实时显示并分析VI、IV、LI、PV、RI、PI、RV、RFI、BJI、BJV等十余种特性曲线。

数据处理：数据滤波（取平均）、自动/手动量程设置。

精度调节：测量积分时间可设 (0.001s~2s)，平衡速度与精度。

人性化结构设计

• 四维精密运动：样品台支持 X, Y, Z, R (旋转)四轴电动控制，便于精确定位和测量点选择。

• 快速样品更换：样品通过真空吸附固定于底盘，样品台可快速抽出，大幅提升换样效率。

• 模块化布局：探针台体集成4个高精度探针底座，预留光路接口，结构紧凑稳定。

天恒科仪光电耦合测量探针台系统通过高度集成化的硬件平台与功能强大的智能软件，成功解决了传统光电测试中设备分散、操作繁琐、光路配置复杂的痛点。

其宽光谱光源激励能力、微米级电学定位精度、纳安级电流检测灵敏度以及灵活的自定义扫描功能，使其成为材料研究、光电器件开发及量产测试中性价比很高的选择。

无论是基础的IV特性测试，还是复杂的光电响应谱、EL/PL光谱分析，该系统都能提供高效、可靠的一站式解决方案，显著提升研发与测试效率。