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customized 刻蚀机终点检测系统

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刻蚀机终点检测系统刻蚀

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

产地类别	国产	价格区间	面议
应用领域	能源,建材/家具,电子/电池,汽车及零部件,综合

刻蚀机终点检测系统 产品介绍：

◆ 刻蚀机终点检测系统 问题解决方案-软件ideaEPD

主要特点：

1.实时显示全谱与至少6个峰的时序谱。

2.在时序谱上实时显示各种事件的纵线标记，包含启辉信号、预延迟、终点信号等。

3.配置文件管理界面提供强大与灵活的终点判断算法，增加了用户的可操作性，准确找到刻蚀终点。

4.包含本地与远程模式，下位机在远程模式下由上位机控制，并可在检测到终点后实时向上位机发送信号。

5.历史数据可以批量查看，并且可以用新的配置文件再处理，以便用户寻找更合适终点算法。

6.可以查看历史数据中不同波长对应的时序图，以便找到适合终点判断的谱线，方便用户探索新工艺。